WAT6300半导体参数测试高压串行参数测试系统-联讯仪器-联讯仪器-中电科思仪代理商_横河代理商

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WAT6300半导体参数测试高压串行参数测试系统-联讯仪器

产品类别：联讯仪器
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WAT6300是一台串行高压半导体参数测试系统，可选配实现垂直型及通用型高压晶圆级参数测试，可以快速执行精确的高

低压直流测量、电容测量等。

垂直型测试系统内置一台低压低漏电矩阵和一台单路输出至CHUCK的垂直型高压矩阵，系统在高压3500V使用条件下最多

可扩展24通道输出，在600V使用条件下最多可扩展48通道输出，可满足中高压多通道的测试需求。通用型测试系统内置一

台通用高压开关矩阵，最大可扩展24通道及CHUCK输出，所有通道输出电压均可高达3500V，可用于平面型与垂直型的器

件测试。垂直型与通用型系统均配置高低压保护电路，提高系统运行稳定性。