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基于多年的光学仪表和半导体测试系统的开发经验，联讯仪器硅光晶圆测试系统sCT9002全面优化和整合软硬件系统，在
光学对准能力、耦合速度多方面均有显著提升。整体系统采用模块化设计，光学耦合可选用光纤或光纤阵列，支持垂直耦合
和边缘耦合，并行测试大幅缩短了测试时间，有效提升测试效率。sCT9002高精度和高可靠性的测量结果为硅光晶圆的研
发及生产保驾护航。
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